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财联社（上海，记者 刘春燕）讯，万业企业（600641.SH）1日盘后公告，公司控股孙公司北京凯世通拟向公司关联方芯成科技(绍兴)出售3款12英寸离子注入机，总交易金额人民币1亿元(含13%增值税)。公司副总经理周伟芳对财联社记者表示，这是公司首个亿元离子注入机订单，有利于公司集成电路业务的进一步商业化。
公告显示，出售的3款12英寸集成电路设备包括1台低能大束流重金属离子注入机、1台低能大束流超低温离子注入机以及1台高能离子注入机。按照总交易金额1亿人民币来算，扣除增值税后，设备均价在2900万左右。
据周伟芳介绍，目前国际上同类设备中，低能大束流离子注入机价格大概在3000至3500万，高能大束流价格大概在6000至6500万，相比之下，凯世通离子注入机具有价格优势。不过，周伟芳进一步表示，公司的着力点在于提供能够满足客户需求的产品性能，更看重的是工艺水平研发，不以价格为考量，本次交易的设备性能在国际上属于主流水平，可用于12英寸成熟工艺上。
中银证券12月1日研报指出，本次订单对于凯世通而言迎来商业客户及批量订单的重大突破，也有望推动离子注入机国产化，根据中国国际招标网数据显示，中国本土主要晶圆产线离子注入机国产化率仅为1%。
万业企业在公告中还透露，目前大束流离子注入机组装已完成80%；其他两款设备处于采购零部件阶段。上述公司人士称，相关零部件供应商和订单已经确定，成本上不会再受上游价格波动影响。
对于本次订单涉及关联交易，周伟芳回应表示，主要系公司大股东的作为产业基金机构投资了众多集成电路公司，董事有所重合，所以不可避免地形成了关联交易，但事实上双方此前并无业务关联。
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